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半导体制造中的PFA

 

 

半导体是一种非常重要的电子材料,在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明等领域都有使用,大部分的电子产品和半导体有着极为密切的关联,包括智能手机、电脑和家用电器等。随着半导体技术发展,晶体管尺寸从10μm(微米)缩小到了7nm(纳米),甚至5nm(纳米),对化学品的纯度要求非常苛刻。   
含氟聚合物PFA是半导体制造应用的重要材料之一,主要用于液体处理和运输、化学包装、晶圆处理和过滤。

 

PFA清洗花篮

 

       清洗是PFA过滤网的重要工艺环节,用于去除半导体硅片制造、晶圆制造和封装测试步骤中存在的杂质。PFA清洗花篮,是晶片清洗工艺的重要工具,因为要与药液接触,需要其耐酸碱性。由于花篮要与晶片相接触,需要表面光滑。

 

 

 

PFA清洗槽

 

       PFA清洗槽,用于浸泡、清洗器皿。PFA能耐受清洗溶液的腐蚀性,无溶出无析出,不会污染芯片晶圆。

 

PFA支架

 

       PFA支架,在半导体湿法过程中,晶圆需要放置在特定支架上。利用PFA优秀的柔韧性和加工性能,可以熔融加工制作成各种形状的支架。

 

PFA过滤网

 

        PFA过滤网,半导体器件生产中需要清洗或过滤盐酸、硝酸、双氧水以及其他一些防腐蚀要求的化学品流体,过滤材质通常为高纯PFA材料。在半导体蚀刻和清洗中,PFA还被制成各种工具,如流量计、烧杯等,以保证蚀刻液、清洗液的高纯度。
       化学机械抛光是半导体器件制造工艺中的一种技术,用来对正在加工中的硅片或其它材料进行平坦化处理,所用到的液体是含有细颗粒的研磨液。利用PFA光滑性能制成的容器可防止浆料中的杂质与晶圆接触。
       半导体元件产品的制造需要数百道工序,即使是少量杂质也将对最终产品产生巨大影响。PFA具有极强的化学稳定性,它能忍受高温、强酸等极端环境,并且不会与溶剂发生反应,使得它成为储存容器和运输管道的良好材质。
       此外,半导体制造过程中要进行种种不同处理,要在最高温度接近200℃时用氢氟酸、盐酸、硝酸、硫酸、磷酸、氨、过氧化氢水溶液等药液处理。既能承受强酸、强碱,高温和高压的环境,又性能稳定,这是PFA在半导体行业广受欢迎的原因。




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